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TGS-XY 系列
TDS-XY下軸使用三根導軌達到更好的性能,支持更長長行程的上軸。使用定制的帶氣管緊湊排線,是半導體行業的理想選擇。
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技術參數
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設計特點:

A. 三軌堆疊XY平臺 

B. 下軸使用三根導軌,支持更長長行程的上軸

C. 使用定制的帶氣管緊湊排線


 

性能參數單位LU
有效行程mm500500
額定負載kg20
空載運動質量kg407
最加大速度m/s21010
最大速度m/s11
電機型號-AUM5-S3AUM4-S3
持續推力N295166
峰值推力N2122936
編碼器參數μm0.05/0.1/0.5/SINCOS0.05/0.1/0.5/SINCOS
最小機械步長μm0.50.5
重復定位精度μm±1.0±1.0
絕對定位精度μm±10.0±10.0
直線度μm±10.0±10.0
平面度μm±10.0±10.0
橫擺角arc sec±10.0±10.0
俯仰角arc sec±10.0±10.0
正交性arc sec10.0
空載平臺總質量kg350

注:

1.此參數表是此種類型平臺的典型值。

2.請聯系我們獲取更多選項。


                                                                     

                                    OPN.png                               

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