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XYZ微型顯微鏡平臺
XY軸為直線電機,集成高精度光柵尺,重復定位精度±0.75um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構,光柵尺 反饋,重復定位精度±0.5um
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XYZ微型顯微鏡平臺 

產品特性:

XY軸為直線電機,集成高精度光柵尺,重復定位精度±0.75um

Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構,光柵尺

反饋,重復定位精度±0.5um

典型應用領域:

8寸,12寸晶圓檢測

*如需詳細參數,請聯系雅科貝思銷售工程師(郵箱:cust-service@akribis-sys.cn)

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